白光干涉仪测量范围有哪些？

xiaobaba

　　白光干涉仪的测量范围涵盖垂直与横向两个维度，并具备材料与结构的广泛适应性，具体如下：
　　一、垂直测量范围（高度/厚度）
　　1.超光滑表面至微米级台阶：
　　①典型垂直分辨率可达 0.1nm，能精准捕捉纳米级表面起伏（如半导体晶圆表面粗糙度Ra值低至0.7nm）。
　　②测量范围通常覆盖 1nm至200μm，部分高端设备（如大视野3D白光干涉仪）可扩展至 10mm，满足从薄膜厚度到深槽结构的测量需求。
　　2.分层膜厚无损检测：通过非接触式光学干涉，可对多层薄膜进行3D形貌重构，精准分析各层膜厚分布（如5nm级有机油膜的全区域厚度检测）。
　　二、横向测量范围（面积/视野）
　　1.微观形貌表征：
　　①横向分辨率通常为 0.3μm，单次扫描视野范围从 数十微米至数毫米（如1.7mm×1.3mm单幅图像）。
　　②大视野设备（如0.6倍镜头）可实现 15mm单幅超大视野，结合高精度（0.1nm级）完成8寸晶圆的全域扫描（FULL MAPPING）。
　　2.复杂结构适配性：适用于高宽比＞5的纳米柱、深宽比＞10的沟槽等特殊结构，避免因信号衰减导致的测量盲区。
　　三、材料与结构适应性
　　1.表面反射率范围：可测量表面反射率从 0.5%至99.9% 的样品，涵盖镜面、漫反射面及透明薄膜（如通过调整光源波段匹配PMMA等光刻胶的折射率特性）。
　　2.材料类型兼容性：适用于导体、半导体、绝缘体等各类材料，包括柔软、黏性表面（如生物材料）及难测量表面（如深蚀刻工艺形成的深槽结构）。
　　四、典型应用场景
　　1.半导体制造：
　　①晶圆表面粗糙度检测（Ra值0.1-10nm）、电子束光刻（EBL）后3D轮廓测量（如50nm宽纳米线的侧壁倾角89.2°）。
　　②分层膜厚无损检测（如薄膜材料研究中的各层膜厚分布分析）。
　　2.精密加工与材料研究：
　　①高深宽比结构测量（如深槽结构的槽深、槽宽精准获取）。
　　②动态测量（集成多普勒激光测振系统，实现复杂工况下的“动态”3D轮廓测量）。
　　3.润滑与生物材料：
　　①有机油膜厚度扫描（毫米级视野覆盖5nm级油膜）。
　　②柔软表面粗糙度测量（如生物材料无损检测）。
　　点击这里了解更多白光干涉仪信息：http://www.bjygtech.cn/