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国内等离子去胶机哪个品牌好?品牌厂家华仪行值得推荐!

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    发表于 2025-8-21 17:23:59 | 显示全部楼层 |阅读模式
    等离子去胶机通过射频电源或微波发生器电离工艺气体,如氧气、氩气等,生成包含高能电子、离子和自由基的等离子体。这些活性粒子通过物理轰击与化学反应双重机制分解材料表面胶层。物理轰击是指高能离子和电子在电场作用下加速,轰击晶圆表面的光刻胶,打断其化学键,使分子结构被破坏。
    等离子去胶机产品特点:
    1 PLC工控机控制整个去胶过程,全自动进行。
    2 7寸彩色触摸屏互动操作界面,图形化用户操作界面显示,自动监测工艺参数状态,0~99个配方3 程序,可存储、输出、追溯工艺数据,机器运行、停止提示。手动、自动两种工作模式。
    4 采用石英真空仓,全真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
    5 采用抽拉式舱门设计,可选用石英舟,更适合晶元硅片去胶应用。
    6 有效处理面积大,可处理最大直径200mm晶元硅片。
    7 采用防腐数字流量计控制,标配双路气体输送系统,可选多气路气体输送系统,气体分配均匀。可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气等气体。
    国内等离子去胶机哪个品牌好?这个品牌厂家值得推荐!
    华仪行科技(CIF)(www.cif-china.com)推出的等离子去胶机,采用电感耦合各向同性(各个方向)等离子激发方式,适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体去胶。
    CIF等离子去胶机特别适合于大学,科研院所和微电子、半导体企业实验室,对电路板、外延片、芯片、环氧基树脂、MEMS制造过程中牺牲层,干刻或湿刻处理前或后,对基材进行聚合物剥离、金属剥离、掩膜材料等光刻胶去除,以及晶圆表面预处理等。


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