真空泵的负压一般能达到多少？

精工仪器仪表厂

真空泵的负压范围因类型而异，以下是常见真空泵的负压范围：
旋片式真空泵
旋片式真空泵的负压范围一般在 -100 kPa 至 -80 kPa。
根式真空泵
根式真空泵的负压范围通常在 -95 kPa 至 -75 kPa。
螺杆真空泵
普通螺杆真空泵的极限负压可达到 0.01 Pa，对应的相对负压约为 -0.1013 MPa。一些高端定制的螺杆真空泵可以达到更高的负压。
分子泵和离子泵
分子泵和离子泵属于高真空泵，能够达到极高的负压，甚至接近绝对真空。例如，冷阴极离子泵的最大吸气压力可低至 10⁻⁹ 至 10⁻¹¹ Pa。
微型真空泵
微型真空泵的负压相对较低，通常在 -20 kPa 至 -40 kPa。
水环式真空泵
水环式真空泵的极限负压一般为 -0.08 MPa。
逆流冷却真空泵
逆流冷却真空泵的负压范围为 -40 kPa 至 -78.4 kPa。
其他
理论上，无油真空泵的负压极限可达到 10⁻³ Torr（约 0.133 Pa）。

九月十九日

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