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高温环境下适用的4个类别的高温振动传感器

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  • TA的每日心情

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    [LV.1]初来乍到

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    发表于 昨天 17:49 | 显示全部楼层 |阅读模式
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    在高温环境下,选择合适的振动传感器需要考虑多个因素,包括传感器的工作温度范围、材料的耐高温性能、结构设计的优化以及降低热噪声的措施。根据提供的信息,以下是一些适合高温环境的振动传感器类型及其特点:


    ‌新型高温振动传感器‌:一款专门为高温测试环境设计的产品,工作温度可达500C,采用特殊耐高温压电材料和金属壳体,具有超低灵敏度温度系数和低温漂特性,以及方便的三角结构和差分结构设计‌。


    ‌MEMS陀螺仪‌:MEMS陀螺仪因其小巧、低功耗和低成本的特点,在高温环境下具有一定的应用潜力。然而,目前尚不能满足在175C高温条件下运行的需求‌。


    ‌多晶硅高温压力传感器‌:这类传感器一般可用于200C以内的环境。它们采用多晶硅作为材料,通过特定的制备工艺实现电隔离,但存在热应力和高温漏电流增大的问题‌。


    ‌SOI高温压力传感器‌:SOI高温压力传感器具有耐高温特性,通过埋氧层隔绝压敏电阻和硅衬底,避免了P-N结漏电问题。与多晶硅高温压力传感器相比,SOI衬底的漏电流更低,更适合研制高温传感器,但存在敏感压阻层与衬底之间的键合方式、热应力和高温漏电流增大等限制‌。



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