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光栅尺精度可以到多少

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助理技师

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发表于 2025-5-19 15:16:27 | 显示全部楼层 |阅读模式
光栅尺的精度范围通常在±1μm/m到±15μm/m之间,分辨率可达1nm(取决于细分技术)。
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    [LV.2]偶尔看看I

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    技术员

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    发表于 2025-11-11 23:13:30 | 显示全部楼层
    这个思路没毛病,给了我很大的启示。
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