俄歇电子能谱仪的基本原理

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俄歇电子能谱仪（AES）的基本原理是利用高能电子束与固体样品相互作用，使原子内壳层电子电离并留下空位。较外层电子会跃迁至该能级，释放的能量可以发射特征X射线光子或传递给另一个外层电子，导致进一步电离并发射具有特征能量的俄歇电子。通过检测俄歇电子的能量和强度，可以获得样品表层化学成分的定性和定量信息。AES适用于轻元素分析，具有高表面灵敏度，广泛应用于材料表面分析、失效分析、电子材料和纳米材料研究等领域。

mttang

看完讨论，感觉思路开阔了许多。