氦质谱检漏仪的维护与校准​

安工科技

氦质谱检漏仪是一种高精密仪器，其性能依赖于正确的​​维护​​和​​校准​​。定期保养可确保检测精度、延长设备寿命，并减少误报或漏检风险。以下是详细的维护与校准指南：  
​​1.氦质谱检漏仪日常维护​​  
​​（1）真空系统维护​​  
定期更换真空泵油​​（若使用油旋片泵）：  
建议每​​500~1000小时​​更换一次，防止油污染影响检测。  
若油变黑或乳化，需立即更换。  
检查真空密封性​​：  
使用标准漏孔或氦气测试，确保系统无泄漏。  
检查O型圈、法兰密封面是否老化或损坏。  
防止颗粒污染​​：  
在进气口加装​​颗粒过滤器​​，避免灰尘进入质谱室。  
​​（2）离子源与质谱室清洁​​  
​​离子源污染​​会导致灵敏度下降，表现为：  
本底噪声升高  
响应时间变长  
校准失败  
清洁方法​​：  
使用​​无水乙醇​​或​​专用清洁剂​​擦拭离子源电极。  
若污染严重，可能需要​​专业拆解清洗​​或更换部件。  
​​（3）电子系统检查​​  
​​检查电缆与接头​​：  
确保信号线无松动、氧化或短路。  
​​校准电子倍增器（EM）增益​​（若适用）：  
避免信号漂移或灵敏度异常。  

​​2.校准方法​​  
​​（1）零点校准  
​​目的​​：消除本底噪声（如空气残留氦气）。  
​​步骤​​：  
抽真空至稳定状态（无氦气输入）。  
仪器自动或手动调整零点，使读数归零。  
​​（2）灵敏度校准  
​​目的​​：确保检测信号与实际漏率匹配。  
​​工具​​：​​标准漏孔​​。  
​​步骤​​：  
将标准漏孔连接至检漏仪。  
通入氦气，记录仪器读数。  
调整增益系数，使测量值与标准漏孔标称值一致。  
​​（3）响应时间测试​​  
​​目的​​：验证仪器对氦气的响应速度。  
​​方法​​：  
快速喷氦气，观察信号上升时间（通常应<1秒）。