氦质谱检漏仪工作流程

安工科技

氦质谱检漏仪是一种高灵敏度的气体泄漏检测设备，广泛应用于真空系统、航空航天、半导体制造等领域。其核心原理基于​​质谱分析技术​​，通过检测示踪气体（氦气）的分子量来定位和量化泄漏。  
氦质谱检漏仪的工作流程可分为以下几个关键步骤：  
​​（1）抽真空与气体采样​​  
被测工件（如真空腔体、管道）连接至检漏仪，通过真空泵抽至低真空（10⁻⁴~10⁻⁶Pa）。  
若存在泄漏，外部氦气（He）会通过漏孔进入系统，并被检漏仪检测。  
​​（2）离子化与质谱分析​​  
进入仪器的气体分子（包括氦气）在​​离子源​​中被电子轰击，形成离子（如He⁺）。  
离子在​​磁场（或四极杆）​​中偏转，不同质荷比（m/z）的离子沿不同轨迹运动。  
氦离子（m/z=4）被​​离子收集器​​捕获，转化为电信号。  
​​（3）信号放大与检测​​  
微弱离子电流经电子倍增器放大，转换为可测量的电信号。  
信号强度与氦气浓度成正比，从而计算泄漏率（单位：Pa·m³/s或mbar·L/s）。

唯有一剑

这个技巧我学会了，太感谢了！