扫描电子显微镜的分辨率

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扫描电子显微镜的分辨率是评估其性能的重要指标之一，它决定了显微镜能够区分样品表面最小细节的能力。
分辨率是指显微镜能够清晰分辨样品表面相邻两个点或线的最小距离。在扫描电子显微镜中，这通常指的是二次电子（SE）像或背散射电子（BSE）像的分辨率。

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