光栅尺的精度可以达到非常高的水平,具体数值取决于光栅尺的设计、类型和应用需求。以下是光栅尺精度的一些常见指标: 例如,奥普光电的封闭型绝对式光栅尺的精度可以达到±1微米每米,而分辨率最高为2.5纳米。另一些企业生产的光栅尺精度可达到±0.5微米以内,甚至接近±0.1微米的精度水平。 在某些特定应用中,如半导体制造、精密加工和航空航天领域,需要极高精度的测量,这时会使用特殊型号的光栅尺,其精度和分辨率将远超常规标准。 需要注意的是,精度和分辨率是两个不同的概念。分辨率关注的是最小可检测的变化量,而精度则是测量值与真值的偏差程度。在选择光栅尺时,应该根据实际应用场景和精度要求来确定所需的具体规格。
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