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白光干涉仪测量原理是什么

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发表于 2025-6-26 08:40:20 | 显示全部楼层 |阅读模式
  白光干涉仪的测量原理基于干涉现象,具体来说是利用不同波长的光在不同路径上的相位差导致的干涉条纹变化。下面是白光干涉仪的基本工作原理:
  光源:白光干涉仪使用的是白光源(即包含多个波长的光源),例如普通的白光灯或激光。白光源的特点是包含广泛的光谱成分。
  分束器和光路分离:白光通过分束器被分成两束或更多束光。每一束光都会通过不同的光路,最终合并回同一点。这些光路径的不同长度会导致两束光之间产生相位差。
  干涉现象:两束分离的光在合并时,会根据它们的相位关系发生干涉。如果两束光的相位差为整数倍的波长,它们会发生相长干涉(亮条纹);如果相位差为半波长的奇数倍,它们会发生相消干涉(暗条纹)。
  白光的特点:由于白光包含多个波长的光,因此在干涉时,不同波长的光会有不同的干涉效果。不同波长的光会在不同位置产生干涉条纹,这会导致干涉图样变得更加复杂。只有特定的波长在干涉过程中达到一致的相位关系。
  干涉图样的分析:通过分析白光干涉图样中的条纹(亮暗变化),可以获取干涉条纹的位置变化,从而推算出与光程差、表面形貌、厚度等物理量相关的信息。
  分辨率与精度:白光干涉仪由于使用了多种波长的光,通常能够提供非常高的分辨率,适用于高精度的测量。通过分析干涉条纹的细节变化,可以非常精确地测量微小的物理量,比如表面粗糙度、膜层厚度等。
  总的来说,白光干涉仪的核心原理就是利用干涉现象,并通过分析干涉条纹的变化,提取出所需要的物理参数。

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