气密性检漏仪的工作原理

安测通仪器

　　气密性检漏仪是一种用于检测各种零部件、容器等是否存在气体泄漏，以确定其气密性的设备。常见的气密性检漏仪工作原理主要基于以下几种技术：
　　直压式检测原理
　　直压式气密性检漏仪通过比较检测工件与已知标准容积的参考腔室之间的压力变化来判断工件是否泄漏。具体过程如下：
　　-充气阶段：将检测工件和参考腔室分别与检漏仪相连，通过气路系统向两者充入相同压力的气体，使它们达到初始平衡压力。
　　-检测阶段：关闭充气阀门，使工件和参考腔室处于封闭状态。如果工件存在泄漏，其内部气体就会逐渐泄漏出去，导致压力下降；而参考腔室由于不存在泄漏，压力保持不变。
　　-判断阶段：检漏仪内置的高精度压力传感器实时监测工件和参考腔室的压力变化。通过对比两者的压力差值，并与预先设定的泄漏允许值进行比较，若压力差值超过设定值，则判定工件存在泄漏，反之则认为气密性良好。
　　差压式检测原理
　　差压式气密性检漏仪同样利用压力变化来检测泄漏，但它更侧重于测量检测工件与标准工件之间的压力差。其工作过程如下：
　　-准备阶段：选取一个已知气密性良好的标准工件，将其与检测工件同时连接到差压式检漏仪的不同气路通道上。
　　-充气平衡：向标准工件和检测工件充入相同压力的气体，使两者内部压力达到一致并保持稳定。
　　-检测阶段：切断充气气源，保持两个工件的封闭状态。若检测工件有泄漏，其内部压力会逐渐降低，而标准工件压力不变。此时，检漏仪通过高精度的差压传感器精确测量两者之间的压力差。
　　-结果判定：根据预设的泄漏标准，当检测到的压力差超过阈值时，判定检测工件存在泄漏；未超过则表明气密性符合要求。
　　氦质谱检漏原理
　　氦质谱检漏仪是一种更为精确的气密性检测设备，常用于对泄漏率要求极高的场合，如航空航天零部件、高端电子元件等的检测。其原理基于氦气作为示踪气体的特性：
　　-充氦阶段：将待检测工件放入一个密封的测试腔室中，向腔室内充入含有一定浓度氦气的混合气体，使氦气渗透到工件内部（如果工件存在泄漏点）。
　　-检测阶段：之后将测试腔室抽真空，使腔室内压力降低。此时，若工件有泄漏，内部的氦气会通过泄漏点逸出到腔室中。利用质谱分析技术，通过专门的氦质谱探测器捕捉并检测腔室内氦气的含量。
　　-定量分析：根据检测到的氦气含量，结合已知的测试条件和相关参数，通过特定的算法计算出工件的泄漏率，从而精确判断工件的气密性状况。由于氦气分子小、扩散性强，即使微小的泄漏也能被灵敏检测到，因此氦质谱检漏仪具有极高的检测精度。