纳米压痕仪工作原理

科慧仪器

纳米压痕仪是一种用于测量材料在纳米尺度下的力学性能的高精度仪器。其工作原理基于​​载荷-位移曲线​​的测量，通过控制微小压头对材料表面施加精确的载荷，并实时监测压入深度的变化，从而分析材料的力学行为。
基本组成​​
​​压头​​：通常为金刚石材质的Berkovich、立方角或球形压头，用于压入材料表面。
​​加载系统​​：通过电磁力、压电陶瓷或机械杠杆施加精确的垂直载荷。
​​位移传感器​​：高精度电容式或光学传感器，实时测量压入深度。
​​控制系统​​：计算机控制加载-卸载过程，并记录载荷-位移数据。