半导体烘箱的维护工作

乾潮制造

半导体烘箱的维护工作
一、洁净至上：防尘与清洁  
无尘室级清洁  
每日用防静电无尘布擦拭箱体外表面，禁用纤维脱落材质  
内腔清洁需在停机状态下进行，使用半导体专用清洁剂（如IPA）  
每月深度清洁风道滤网，更换周期不超过3个月  
防污染隔离  
加载物料时启用层流罩，避免外部颗粒侵入  
箱门密封条每月涂覆硅脂，确保密闭性（压缩量≤15%）  
二、半导体烘箱温度精控：校准与验证  
三级校准体系  
每日开机自检：核对仪表显示与实际传感器偏差  
每周多点校准：使用RTD探头检测腔体上中下三层温差（≤±1.5℃）  
年度计量溯源：送第三方实验室校准温控模块  
热分布验证  
每季度进行空载热分布测试，绘制三维温度场图  
满载验证时加入模拟晶圆负载，确保边缘与中心温差＜3℃  
三、安全护航：风险防控  
双重过热保护  
主控温控器+机械式超温保护器串联配置  
加热元件表面温度监测，超过设定值80%立即切断电源  
静电防护  
箱体接地电阻＜4Ω，接地线采用24K镀金端子  
物料架使用抗静电PVC材质，表面电阻10^6-10^9Ω