时间仪器 发表于 2025-6-23 16:36:06

真空设备有哪些?

真空设备种类繁多,根据其功能和应用领域可以分为以下几类:
真空获得设备
机械真空泵:包括旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。这些泵通过机械运动产生真空,适用于不同的真空度要求和应用场景。
蒸汽流真空泵:如水蒸汽喷射泵、油增压泵和油扩散泵等。这类泵利用蒸汽的高速流动来抽气,常用于需要较高真空度的场合。
气体捕集真空泵:包括钛溅射离子泵、低温泵、分子筛吸附泵和锆铝吸气泵等。它们通过吸附或凝结气体分子来降低容器内的气压,适用于高真空和超高真空环境。
真空机组:由产生真空、测量真空和控制真空等组件组成的各类机组。这些机组可以集成多种泵和控制设备,以满足复杂的真空需求。
真空应用设备
真空镀膜机:如蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、离子镀膜机和等离子化学沉积装置等。这些设备用于在材料表面沉积薄膜,广泛应用于电子、光学和材料科学领域。
真空冶炼炉:包括电阻炉、电子束炉、电弧炉、感应炉和单晶炉等。这些炉子在真空环境下进行金属的熔炼和提纯,适用于高纯度材料的制备。
真空热处理炉:如淬火炉、回火炉、退火炉、渗碳炉、渗氮炉和渗金属炉等。这些炉子用于材料的热处理,以改善其机械性能和耐腐蚀性。
其他真空设备:如冷冻干燥设备、蒸馏设备、提纯设备、浸渍设备、果蔬保鲜设备、运输设备、空间模拟设备、包装机和钢水脱气装置等。
真空测量仪器
低真空计:测量范围为10^5---10^2Pa。
中真空计:测量范围为10^2---10^-1Pa。
高真空计:测量范围为10^-1---10^-5Pa。
超高真空计:测量范围小于10^-5Pa。
真空检漏仪
高频火花检漏仪:用于检测真空系统或元件的漏孔位置或漏率。
卤素检漏仪:通过检测卤素气体的泄漏来定位漏点。
氦质谱检漏仪:利用氦气作为示踪气体,通过质谱分析来检测泄漏。
真空阀门
插板阀:用于切断或接通管路。
挡板阀:通过挡板的开合来控制气体流动。
电磁阀:利用电磁力控制阀门的开启和关闭。
电磁带放气阀:结合电磁控制和放气功能。
隔膜阀:通过隔膜的弹性变形来控制流体的通断。
调节阀:用于调节流量。

Miraitowa 发表于 2025-11-30 17:23:06

楼主分享的选型技巧太实用了,正好能用上~
页: [1]
查看完整版本: 真空设备有哪些?