哈曦设备 发表于 2025-4-17 11:42:59

离子溅射仪是干什么的

离子溅射仪是一种利用离子束溅射技术进行薄膜沉积和表面改性的高科技仪器。
离子溅射仪基于辉光放电原理，在真空环境中，通过高压电场使惰性气体（如氩气）电离成等离子体状态，释放出带正电的离子。
这些正离子在电场作用下被加速，并以高速撞击含有沉积材料的靶材。当离子以足够的能量轰击靶材时，会从靶材表面撞出原子或分子，这些被撞击出的粒子称为溅射粒子。
溅射粒子在真空中沿着直线轨迹运动，并最终沉积在预先放置好的基板上，形成均匀的薄膜。

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