电镜防振台的主要用途和安装
电镜防振台的主要用途和安装一、主要用途
电镜防振台是专为电子显微镜等精密设备设计的减振装置，主要功能是吸收和消除外界振动对设备的影响，确保成像质量和测量精度。其应用场景包括：
1.电子显微镜（SEM、TEM、AFM、STM等）：减少低频共振干扰，提升图像清晰度和分辨率。
2.高精度实验设备：如纳米级加工设备、精密测量仪器等，防止振动导致的数据偏差。
3.科研和工业检测：在振动敏感的实验室环境中，提供稳定的设备运行条件。
二、安装方法
电镜防振台的安装需遵循以下步骤和注意事项：
1.安装前准备
（1）检查设备完整性：确认防振台及其组件无损坏，所有配件齐全。
（2）环境评估：确保安装位置地面平整、无振动源，环境温湿度符合设备要求（如10-40℃，相对湿度0-60%）。
（3）工具准备：高精度水平仪、螺纹连接工具、润滑油（如需）等。
2.安装步骤
（1）减震支撑单元安装：
①将减震支撑单元的中心轴通过螺纹连接装入支撑底板的第一安装孔中。
②使用高精度水平仪调整各支撑单元，完成水平度的粗调。
③若显微镜较重，建议在支撑底板的四个角及两个长边中心处设置六个安装孔，以增强稳定性。
（2）显微镜放置与精调：
①将显微镜放置在支撑底板上，再次使用水平仪调整支撑单元，完成水平度的精调。
②确保显微镜重心均匀分布，避免局部过载。
（3）连接与固定：
①将上盖板与减震支撑单元连接，确保中心轴的另一端在容纳槽中可滑动且不直接接触底面。
②在下盖板的容纳槽中加入少量润滑油（如需），以增强减震效果。
3.安装后调试
（1）振动测试：使用振动传感器检测防振台在各个方向的振动隔离效果，确保达到设计指标（如XYZ三轴双向减振指标>5Hz=25dB，>10Hz=35dB）。
（2）负载调节：根据显微镜重量，手动调节防振台的负载参数，确保最大补偿力在合理范围内（如竖直±32N，水平±16N）。
（3）环境适应性测试：在模拟工作环境下运行设备，检查防振台是否满足温湿度、电源等要求。
三、关键技术参数
1.隔振频率范围：主动隔振技术擅长于10Hz以下的低频振动隔离，被动隔振技术可削弱频率低于1Hz或高于10Hz的振动。
2.最大补偿水平：如AVI系列主动隔振台可隔离6个自由度方向的振动，最大补偿水平达350μm/s（9Hz）。
3.载重量：根据型号不同，载重量范围为0-1200kg，工作面尺寸可定制（如800×1000mm）。
四、注意事项
1.安装精度：水平度调整需精确到微米级，避免因安装不当导致振动隔离效果下降。
2.维护保养：定期检查减震支撑单元的弹簧和连接件，确保无松动或损坏。
3.环境控制：避免在强振动源附近使用，必要时可配合防震隔音消磁设备（如Herzan电镜隔音箱）进一步提升稳定性。
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